BS ISO 14999-4:2015
光学和光子学光学元件和光学系统的干涉测量 ISO 10110 中规定的公差的解释和评估

Optics and photonics. Interferometric measurement of optical elements and optical systems. Interpretation and evaluation of tolerances specified in ISO 10110

标准号: BS ISO 14999-4:2015
发布: 2015年
总页数: 38页
发布单位: 英国标准学会
当前最新: BS ISO 14999-4:2015

引用标准: ISO 10110-14 ISO 10110-5 ISO 25178 ISO 4287 ISO/TR 14999-1 ISO/TR 14999-2
被代替标准: BS ISO 14999-4:2007

本体: 光学元件

适用范围: 本部分ISO 14999适用于光学元件测量中干涉数据的解释。本部分ISO 14999给出了光学功能和值的定义，这些功能和值在根据ISO 10110-5和/或ISO 10110-14制备光学元件和系统图纸时指定，相应的术语、功能和值列于ISO 10110-5的附录B中。它还提供了通过视觉分析进行干涉评估的指导。

术语	描述
波前变形 wavefront deformation	表示测量波前与理论波前之间的距离，垂直于理论波前测量
峰值到谷值 peak-to-valley value	在感兴趣区域内函数的最大值减去最小值
均方根值 root mean square value	函数在给定区域A上的均方根值
倾斜 tilt	表示测量波前变形的最佳线性近似的平面函数
波前不规则性 wavefront irregularity	波前变形减去波前球形近似后的结果