ASTM F815-88(1993)e1
检测外延尖峰的测试方法（1999 年撤回）

Test Method for Detection of Epitaxial Spikes (Withdrawn 1999)

标准号

ASTM F815-88(1993)e1

发布

1993年

发布单位

美国材料与试验协会

当前最新

ASTM F815-88(1993)e1

 

 

适用范围

 完整说明 1.1 该测试方法涵盖硅晶圆上外延尖峰的检测。它适用于任何晶圆直径或表面方向。
1.2 该测试方法是对晶圆上是否存在尖峰进行通过或失败测试。如果尖峰相对较少并且它们不靠近，则也可以使用测试方法来对尖峰进行计数。
1.3 就本测试方法而言，可检测的尖峰是标称高度为4μm或以上的尖峰。
1.4 本测试方法不具备测量鞋钉高度的能力。
1.5 该测试方法通常是非破坏性的，但其使用可能需要对测试晶圆进行后续清洁。
1.6 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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