ASTM F40-83
单晶硅测试锭的制备方法

Standard Method for PREPARING MONOCRYSTALLINE TEST INGOTS OF SILICON BY THE VERTICAL-PULLING (CZOCHRALSKI) TECHNIQUE

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标准号

ASTM F40-83   中文首页

发布

1984年

总页数

6页

发布单位

美国材料与试验协会

当前最新

ASTM F40-83

 

 

引用标准

ASTM F26 ASTM F42 ASTM F43 ASTM F47

适用范围

1.1 该方法涵盖了在受控标准化条件下生长用于半导体应用的单晶硅的程序（直拉技术）。
1.2 然后可以通过测量电气、物理和其他参数来评估晶体吗？ i.3 本标准可能涉及危险材料、操作、干旱设备。本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题。使用本标准的任何人都有责任在我之前协商并建立适当的安全和健康实践，并确定免责限制的适用性。具体预防措施说明见第 6 节。

ASTM F40-83 中提到的仪器设备

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