质析毫微·谱绘万象——半导体痕量成分检测技术交流会

2025.6.30

　　由中国物理学会质谱分会，北京雪迪龙科技股份有限公司联合主办，中国科学院上海应用物理研究所，k8凯发天生赢家一触即发人生，中国仪器仪表学会分析仪器分会质谱仪器专家组协办的质析毫微·谱绘万象——半导体痕量成分检测技术交流会将于2025年7月17日在上海·中国科学院上海应用物理研究所学术交流中心举行。

　　当前全球半导体产业竞争已进入纳米级工艺时代，痕量杂质检测成为决定芯片性能、良品率及可靠性的核心环节。在单晶硅制备、光刻胶纯化、刻蚀气体分析等关键流程中，十亿分之一（ppb）甚至万亿分之一（ppt）级别的杂质都可能引发器件失效。二次离子质谱（SIMS）、气相色谱（GC）、ICP-MS、光腔衰荡光谱（CRDS）等尖端技术凭借原子级灵敏度与多维度分析能力，成为破解痕量成分检测难题的核心工具。

　　然而，我国高端科学仪器长期依赖进口，尤其在半导体领域，检测设备的自主可控面临严峻挑战：核心部件（如高亮度离子源、超精密质量分析器）受制于人，复杂场景下的算法模型尚待突破，设备稳定性与国际先进水平存在代际差距。随着国家《高端科学仪器自立自强专项行动》的推进，加速国产仪器技术迭代、构建产学研用协同创新链，已成为支撑半导体产业链安全的战略需求。

　　在此背景下，本次技术交流会以 “质析毫微·谱绘万象”为愿景，聚焦SIMS、GC、ICP-MS、CRDS等技术的国产化突破路径与产业化实践，汇聚学术界前沿成果与企业界工程经验，旨在打通“技术研发-场景验证-商业应用”闭环，为我国半导体检测技术自立自强注入新动能。

　　主办单位：

　　中国物理学会质谱分会

　　北京雪迪龙科技股份有限公司

　　协办单位：

　　中国科学院上海应用物理研究所

　　k8凯发天生赢家一触即发人生

　　中国仪器仪表学会分析仪器分会质谱仪器专家组

　　会议时间：2025年7月17日（全天）

　　会议地点：中国科学院上海应用物理研究所学术交流中心（上海市）

　　会议主题：半导体痕量成分检测技术

　　拟邀对象：科研院所、高校专家学者，半导体产业链企业技术负责人，检测仪器研发精英等。

　　官网链接：https://c.antpedia.com/64426/introduction.html

　　一、会议亮点

　　★ 主题报告：行业专家分享技术前沿与实践案例

　　★?专题研讨：产学研多方共议国产仪器技术升级路径

　　★?交流对接：促进行业资源整合与合作

　　二、会议日程

时间	环节	拟邀嘉宾
08:30-09:00	签到注册	签到处
09:00-09:05	开幕致辞	学会领导
09:05-09:20	雪迪龙与上海应用物理研究所揭牌仪式	中科院上海应物所领导（5分钟） ????????????雪迪龙领导（5分钟）
09:20-09:50	报告1：《高端仪器国产化路径探索》	方向研究员 ???????????????中国计量科学研究院
09:50-10:20	报告2：《从KORE到SDL：雪迪龙半导体解决方案》	张倩暄副总工程师 ?雪迪龙
10:20-10:50	报告3：《SIMS在新能源材料领域应用》	汪福意研究员 ?????????????中国科学院化学研究所
10:50-11:00	茶歇
11:00-11:30	报告4：《应物所SIMS平台特色与典型成果》	汪雪技术专家 ????????????中科院上海应物所
11:30-12:00	报告5：《TOF-SIMS-An essential technique for a modern surface science laboratory》	Steve 技术专家 KORE
12:00-13:30	午餐休息
13:30-14:00	报告6：《The practical use of TOF-SIMS for solving problems in materials science》	Fraser 技术专家 KORE
14:00-14:30	报告7：《ICP-MS在半导体与集成电路领域应用》	汪正研究员 ??????????????中科院上海硅酸盐研究所
14:30-15:00	报告8：《原位液相二次离子质谱及其新能源材料研发中的应用》	张燕燕博士 ???????????????中国科学院化学研究所
15:00-16:00	分组参观SIMS实验室
16:00-17:00	闭门会议：《如何打破高端SIMS设备的“卡脖子"困局?》
17:00	会议结束
17:30-20:00	晚宴